UV光氧催化廢氣處理設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，能達到明顯的處理效果。運行過程中某些因素會影響設備凈化效果，所以需要我們額外關注。
1、廢氣濃度的影響
UV光催化治理VOCs適合的應用范圍主要包括噴涂車間、印刷、電子、制藥、食品等行業產生的低濃度有機廢氣，對于20.200PPM以下的濃度效果較好，隨著VOCs濃度增高，降解效率也會隨之降低。
目前廣泛采用的是185nm和254nm兩個波段的真空紫外燈，這是由于真空紫外燈發射的紫外線能量強度有限，單位時間內光解能量不足，效率下降。
所以單純的增加燈管的數量是無法解決高濃度有機氣體問題，紫外光解技術不適合中高濃度VOCs氣體。
2、相對濕度低的影響
對于一定的濕度條件下，氧氣吸收了大部分185nm紫外光，但是隨著濕度的進一步增加，一部分是水蒸氣與氧氣競爭吸收185nm波長的紫外光，水蒸氣吸收了更多的185nm紫外光，同時產生更多羥基自由基。
水蒸氣與活性氧反應生成羥基自由基，羥基自由基的氧化性要強于臭氧和活性氧，從而光解的速度明顯加快，促進單位時間內對于廢氣去除率的增加，相對濕度在30—65%這個范圍，光解效率是上升的，相對濕度超過70%后隨之逐漸下降。
3、風速和濕度差的影響
風速越大，水蒸氣進出口的濕度差越小，也就是說風速越大，羥基自由基產生量的值也會越少。
因此在風速小的工況下，羥基自由基對揮發性有機物VOCs的貢獻大，風速大的工況下，羥基自由基對有機物降解的作用就會變得十分有限，在低濃度下，延長停留時間并不能等效的增加廢氣去除效率。
4、光源的選擇和影響
一般選擇185rim和254nm兩個波段的真空紫外燈。
真空紫外設備進口的風速影響了紫外燈的燈管表面溫度，燈管表面溫度與紫外燈的發光效率有直接關系，燈表溫高于某一數值時會直接影響其發光效率。
臭氧協同真空紫外光對很多有機廢氣是有降解效果的。
254nm的紫外光可以促進臭氧產生氧自由基，從而氧化廢氣分子，臭氧在真空紫外條件下與空氣中的水蒸氣可產生羥基自由基，羥基自由基可氧化甲苯等廢氣。
5、合理的設備空間布局和結構
目前UV光催化治理VOCs設備的自動化程度低，基本還沒有自動檢測和監控功能，所以對產品的整體效果不能夠進行有效的效率評估。
要合理的處理好催化劑的布置、數量，要準確處理好透光性和氣體的流速，要進行合理的能量匹配和結構優化。
